東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差
點擊次數：588 更新時間：2023-04-28
東京精密E-TS-1070B 精度(du)演(yan)算(suan)誤差(cha)方式介紹(shao)
１．在G1?G2接觸子間放入微動臺。
２．先移動G1接觸子、控制(zhi)部指示値為行程(cheng)量的一半時，（－210～－220μｍ）固定接觸子。
３．然(ran)后移動G2接觸子、控制部指示(shi)値為０μｍ時固定接觸(chu)子。
４．微(wei)動(dong)臺朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、確(que)認控制部(bu) 指示値。
５．微動(dong)臺至進給(gei)原位(wei)置（零位(wei)置）、確(que)認(ren)控制部 指示値為0μm〔注１〕。
６．微(wei)動臺在進給方向進給100μm(＋100μm)、確認控(kong)制部指示(shi)値。
７．微動臺回到原位置（零位置）、確認控制(zhi)部指示値為0μm〔注１〕。
８．0μm→－100μm的指(zhi)示値(zhi)與0μm→＋100μm的指示値不超過(guo)1.5μm。
９．0μm→－100μm的指示値與0μm→＋100μm的指示値的差超過(guo)1.5μm時需再調整(zheng)、重復[１．]～[８．]的作業。不超過時進行接下來的(de)檢查。
〔注１〕 微動臺在原位置（零位置）時、控制部指示値(zhi)不為0μm時、需(xu)調整接觸子重(zhong)復〔４．〕～〔６．〕的作業(ye)。
※ 為(wei)減少演算誤差需(xu)進(jin)行絞合線單體(ti)感度測(ce)量（別紙）。
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